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氦检漏设备的维修时(排气阀门等)应自检漏点，并在发现泄漏点后及时清洗固定，以免影响检漏；使用时，注意观察氦泄漏探测器的工作情况。氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。 氦质谱检漏仪由外部均匀磁场、挡板和接缝组成的分析器；由阻燃格栅、收集极和高电阻值组成的收集器，静电计管和冷阴极电离规的一级放大。

氦质谱检漏仪是气体工业术语，用氦或氢来表示泄漏气体，用气体分析仪来检测氦来检测泄漏。氦的底部噪声低，分子量和粘度系数小，容易通过泄漏孔扩散。氦检漏设备在高速工作时，分子泵中的叶片易与转子筒发生碰撞。马上断电排除故障。氦气泄漏检测器泄漏时，要注意内部泄漏对泄漏检测工作的干扰，易造成误检和误判。 氦质谱检漏仪实际上可以说是氦仪，通过检测氦的含量来确定是否有泄漏。氦检测采用质谱仪，是一种只检测氦的特殊质谱仪，可以屏蔽其它品质的气体。

如果装有液体或气体的容器内外有压差，就不能有气体或液体泄漏。如果泄漏，后果严重，一般会造成有效材料的浪费，如***材料和腐蚀性气体泄漏，甚至导致事故。具有一定速度的离子在均匀磁场中以圆轨运动。逆流氦质谱检漏仪的结构特征。这类仪表是基于与不同气体类型有关的油扩散泵或分子泵的压缩比而制作的。氦是惰性气体，不腐蚀设备，因此常用氦来表示泄漏气体。将这种气体喷射到接有气体分析仪(调整到只对氦反应的工作状态)的被检容器上。