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发布时间:2022-01-02 08:06:11
氦质谱检漏仪故障与处理
检漏仪内部泄漏
***方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时***难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高***的能力:①查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将氦源吹散至各个密封环节,造成***不准确。②喷吹时,要严格控制氦源的流量,尽量采用喷咀流量小的喷,提高***的能力。③仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
正压法氦质谱检漏
采用正压法检漏时,需对被检产品内部密封室充入高于一个大气压力的氦气,当被检产品表面有漏孔时,氦气就会通孔漏孔进入被检外表面的周围大气环境中,再采用吸的方式检测被检产品周围大气环境中的氦气浓度增量,从而实现被检产品泄漏测量。按照收集氦气方式的不同,又可以将正压法分为正压吸法和正压累积法。其中正压吸法采用检漏仪吸对被检产品外表面进行扫描探查,可以实现漏孔的;正压累积法采用有一定密闭功能的氦罩将被检产品全部罩起来,采用检漏仪吸测量一定时间段前后的氦罩内氦气浓度变化量,实现被检产品总漏率的测量。正压法的优点是不需要辅助的真空系统,可以,实现任何工作压力下的检测。正压法的缺点是检测灵敏度较低,检测结果不确定度大,受测量环境条件影响大。正压法主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏,如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。
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