阳江氦质谱真空检漏择优推荐 博为光电品质保障

确定系统的报警点

根据本节2）所得等效氦气漏率和3)所得系统分流因子，即可确定工件的报警点：

Q= QHe/Q3。

氦检漏系统校准

氦检漏系统在使用一段时间后，检漏仪可能由于环境等其他因素的影响，系统检测漏率会出现漂移。因此，需要定期对系统校准。系统校准分为内部校准和外部校准。

1）内部校准

内部校准即是对检漏仪自身的校准，执行内部校准需要准备一个漏率已知的标准漏孔对检漏仪进行校准。由于每款检漏仪校准方法各不相同，限于篇幅，本文不作详述。值得一提的是，一些检漏仪会内置标准漏孔。内置标准漏孔在使用一段时间后，漏率会衰减。因此需要找专门计量单位对内置漏孔进行校准，通常漏孔每年校准一次。

2）外部校准

外部校准即是对整个检漏系统校准，系统使用一段时间后，系统的分流因子可能会发生改变，因此需要定期使用标准漏孔来校准系统，以确定分流比是否已经改变。如果改变需要适当调整系统的报警点。

氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。

灯丝热发射出来的电子经加速进入电离室，在电离室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于受到磁场力（洛伦兹力）的作用产生偏转，形成圆弧形轨道。

标准漏孔的概念及作用标准漏孔的概念

（1）标准漏孔是一个在给定条件下能向真空系统内提供已知的气体流量的装置；

（2）标准漏孔是用来校准检漏仪的灵敏度和标定检出漏孔的大小的一种装置；

（3）标准漏孔与检漏仪的关系：如果把检漏仪看成是天平，则标准漏孔就是砝码。标准漏孔在真空箱法氦质谱检测中的应用：（1）用于检漏仪校准；（2）用于系统校准以及系统灵敏度变化的日常检查。

氦质谱检漏仪的基本原理与组成

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。

目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的，现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。

在质谱室的离子源N内，气体被电离成离子。在电场作用下，离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算：

R=1.8（MU）^1/2/H

式中，R为偏转半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量和电荷质量之比；U为加速电压（V）。

由上式可以看出，当H和U为定值时，对应于不同的M，有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2，到达收集极K而形成离子流。

利用弱电流测量设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1、M3）则以不同的偏转半径而被分开