合肥锂电实验室设备产品介绍「博为光电」

氦质谱检漏仪的发展史必须追溯到上个世纪初。早在1918年期间，欧洲***因和的需要就开始接触检漏，并开始对检漏手段的提升做了大量的基础研究工作，直到1941年，当时，科学家获知德国正在研制一种新型。这种的原理就是基于刚刚发现的铀的同位素的裂变现象。罗斯福认为必须抢先达到此目的，加之第二年的珍珠港事件加速诞生了“曼哈顿”计划。这个计划的两个目标之一就是研制（即）。为此，必须研制超高灵敏的检漏仪。其原因还得从的浓缩谈起。

天然铀中含有铀238和两种同位素。能够发生裂变反应的同位素是，是的主要原料。可是天然铀中的含量仅0.7%。为此，科学家只能采用气体扩散法，从铀238中把含量甚微的分离出来。气体扩散法分离时铀238的原理是这样的：若有一个极其微小的孔隙， 部分气体分子通过这个微孔的速率取决于它们的分子量。分子量小的气体分子能够较快的通过这些微孔。如果让混合气体通过由多孔膜形成的长管，就可以成功地把两种气体分离。

年泄漏率大的标准漏孔，要注意经常校准。如果发现异常，要用外置漏孔校准。注意使用的环境。标准漏孔的生产、检测，都是在20-25℃的室温下进行。尤其有些标准漏孔，对温度特别敏感。温度每变化1℃，标准漏孔的漏率就有3%以上的误差。例如，夏天，室温达到30℃，这种标准漏孔的漏率误差增加30%。

高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。有些生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

检漏仪仪器设备特点

全自动氦质谱检漏仪

全自动氦质谱检漏仪的显著优点：

(1)操作简便：检漏仪结合简捷的双键操作功能及内置智能化系统为您提供简单但强大的测试性能。

(2)功能强大：适用于各种检漏方法，优化设计的质谱室及真空系统功能强大，能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。

(3)配置齐全：多种系统配置，多种可选件，可以灵活地组成各种各样的系统配置。

(4)坚固耐用：在坚固耐用方面的革新设计，使得检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。

氦质谱检漏仪的工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱分析原理，以氦为示踪气体，对真空设备和密封器件的漏隙进行***或定量、定性测量的完整系统。

我们知道气体在电子的轰击下会产生带电粒子，带电粒子在电场的作用下获得能量做加速动力，而在磁场的作用下将做圆周运动，而具有不同质荷比的离子其运动半径不同。这就使一束带电粒子在磁场的作用下按荷质比分离，这门研究使不同质量的粒子在电磁场中运动并依质荷比进行分离的学科称为质谱学。根据质谱学原理制成的仪器叫质谱仪。氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种，将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。

检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成，而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。