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氦质谱检漏仪故障与处理

检漏仪内部泄漏

(1)内部的密封结构

当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧，位于隔热板的上方：①检漏仪测试口与阀门组块的连接部位，密封方式采用胶灌密封，检漏仪在运输过程中如遇到强烈震动，此处容易造成密封胶开裂。②各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封，橡胶圈的密封寿命有限，使用5 年以上时，有可能会存在密封失效的问题。③各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。

背压法氦质谱检漏的简单步骤

质谱检漏实际应用中有很多具体的方法，其中背压法也是其中一种，我们来了解下背压法氦质谱检漏的几个步骤。

背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤：

首先是充压。将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放浸泡一定时间。如果被检件有漏孔，示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着浸泡时间的增加和充压压力的提高，这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。

然后是净化。用干燥氮气或干燥空气在充压容器外部或在其内部吹被检件，在不具备气源时可以静置被检件，这样做的目的是去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。这个过程中，会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失，导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长，示漏气体的分压将越大。

第三个步骤就是检漏。经过净化的被检件被放入真空室，真空室与检漏仪相连，进行检漏。抽真空后，由于压差作用，示漏气体通过漏孔从被检件内部流出，而后经过真空室进入检漏仪，根据检漏仪的输出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。

氦质谱检漏仪调氦峰步骤

调氦峰在更换灯丝后及每天开始检漏前检查氦质谱检漏仪灵敏度达不到要求时进行。

1、调氦峰方法：

开漏孔开关，单方向(从75~165V或从165~75V)调加速电压“V”，使氦质谱检漏仪放大器输出表指示值出现一个Zda值，然后关漏孔开关，如表头指示值变小，说明氦质谱检漏仪接收到氦信号，即找到氦峰;如表头指示值不变，说明不是氦峰，则继续调“V”，直到找到氦峰(出现氦的“V”一般在85~150V之间)。

2、调氦峰分辨不好：

①氦和重离子分辨差。

②氦和轻离子分辨差。

3、调氦峰信号小：

①灯丝没正对电离盒上的电子入口。

②灯丝离电离盒太远。

③分辨不好。

④灯丝质量差(受油蒸汽污染或本身发射能力低)。