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氦质谱检漏仪性能试验方法

灵敏度及其校准

氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的小漏孔漏率。所谓“佳工作条件”是指仪器参数调整到佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的大波动量。

如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。或用累积法检漏时，给出仪器小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。记为γmin，能较方便地估计检漏效果。

浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度。

折叠手动便携式检漏仪

手动便携式检漏仪的显著优点：

(1)：手动便携式检漏仪是一款实用的检漏仪，可覆盖广大的应用领域，***竞争性的价格及较低的使用成本，大抽速前级泵的设计，可缩短抽气时间，提高使用效率；

(2)自我保护功能：在突然暴露大气和突然断电时具有保护功能，系统的逆扩散设计保护了质谱室的清洁、真空，且不需要液氮；

(3)结构灵活：可采用主机与前级泵单独采买，前级泵可使用油封式旋片泵或涡卷式干泵，对于此款检漏仪，您既可选择带有连接配件的主机形式，也可选择安装在两轮小车上的整体形式。

氦气检漏设备的三种常见方法

在压力容器中，氦气检漏设备常用的方法一般可分为三种，即负压法、正压法和氦罩法。与几种方法的灵敏度相比，负压法具有更高的灵敏度。然而，当检漏仪安装在大型复杂的压力容器装置上时，氦气注入方法具有高灵敏度。

一、负压法

负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行氦气检漏时，氦被连接到充满氦气的瓶子中，并且使用喷将氦喷射到泄漏部分。如果氦气从泄漏孔流入压力容器装置，装置中氦气的分压将上升，泄漏率将显示在氦气检漏设备上。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率，将被视为不合格。

二、正压法

正压方法是首先用一种以上的大气压氦气或氦气的混合气体填充压力容器装置。在压力容器装置的外部检测中，泄漏孔泄漏到外部氦气中，然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索氦气时，一旦氦气被吸入，氦气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下，由于压力容器装置的外部是一个大气压，充入压力容器装置的气压需要至少一个大气压或更多个大气压。然而，压力不应太高。如果压力过高，插入设备的压力表或其他插件会弹出，造成伤害和其他***事故。

三、氦罩法

在这种方法中，用塑料薄膜包裹被测容器，首先除去罩子中的空气，然后充入氦气或氦气混合气体，检漏仪与被测容器的内部连接，当检漏仪显示泄漏率时，指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值，则每个泄漏率不超过标准值；如果总泄漏率超过标准值，检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔，直至达到合格标准。

一、正压漏孔的制作

漏孔是在壁两侧压力差或浓度差作用下，使气体或液体从壁一侧流到另一侧的孔洞、孔隙或一个封闭器壁上的其它结构。气体之间存在压力差或浓度差时形成气体流动，通过漏孔的气体流动通常称为泄漏。在实际应用中泄漏一般产生在两种状态下，从高压(高于大气压)漏向大气和从大气漏向真空。

漏孔可为负压漏孔，也可为正压漏孔，主要决定于使用条件。在入口压力100(1±5%)KPa，出口压力低于1KPa温度为25±5℃条件下，低于25℃的空气，通过漏孔的流量来校准空气漏率。

在入口压力(大于100KPa—20000KPa)出口压力100KPa，温度23±7℃情况下，漏率值不变的漏孔，为正压漏孔，它受压力、温度、气体种类影响。

正压漏孔常用全金属通导型，其特点反应快，无累积，漏率稳定，不易堵塞。目前常规的正压漏孔可伐压扁型与无氧铜压扁型，大缺点是随着压力增加，漏率值随着压力减小，不能***其原来值，漏孔芯发生形变。由于材料的性质，用于高压漏孔就变得不能。