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经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

 集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：现在各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。

怎么样影响氦质谱检漏仪检测精度

受到检测压力的影响

泄漏率对测试压力的依赖性，对不同的测量条件是不同的。一般而言，对于多孔性(如铸造气泡、裂缝)较高时，试验压力对泄漏率的影响较大，而对于多孔性较低时则影响较小。另外，随测试压力的，还会带来诸如温度影响，所需稳定时间加长等一系列问题。因此，建议对特定的工件可采用在一定压力范围内进行泄漏检测，然后选择一个满足测试要求的较低的压力确定为终的测试压力。试漏机试漏压力的选择必须充分考虑被测零件各个机构对于测试压力的承受能力。

氦气检漏系统本身检测产品的密封性能。与传统的防水检测方法和氦气检测方法相比，具有以下优点:

1.:由于水的粘度大于气体的粘度，与传统的泡水检测方法相比，气密性检测速度快，产品不需要干燥，所以。

2.安全无污染:泡水检测会污染产品，容易间接腐蚀产品。

3.操作简单:气密性检测仪与氦气检漏或泡水检测法相比，无需操作者过多的肢体动作或长期训练，即可掌握操作方法，操作起来像个傻子。

4.成本低:与氦检漏仪相比，只需要干净的压缩气体代替氦气；传统的泡水检测方法检测产品需要几分钟左右，而气密性检测仪检测产品只需要几秒到十秒，可以节省大量的人力成本、材料成本和时间成本。

5.可靠性高:检漏仪采用微电脑控制系统，由微电脑根据设定值自动判断检测结果，结果可靠。传统的泡水方法由于人眼的疲劳和操作者思维的开小差而不客观。

氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

一、氦质谱检漏仪的应用范围：

在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉快餐食品包装等都离不开检漏问题。

二、氦质谱检漏仪的功能特点：

1、支持正压检漏，负压检漏。

2、自动跟踪本底，提供快速可靠的测量结果。

3、优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应。

4、高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦。

5、支持氮气破空，不受环境氦气干扰，快速降低本底。

6、机器的性能支持长时间在线测试。

7、机器的性能支持几秒一次的高频率测试。

8、配有检漏口精细过滤器，过滤细微杂质，确保机器不受杂质影响和损伤。

9、双铱丝离子源，有效的系统设计，防大气冲击。

10、支持定制检漏工作台，更加便捷使用。