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发布时间:2021-11-22 09:25:32
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语,用氦气或者氢气作示漏气体,以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低,分子量及粘滞系数小,因而易通过漏孔并易扩散;另外,氦系惰性气体,不腐蚀设备,故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪(调整到仅对氦气反应的工作状态)的被检容器上,若容器有漏孔,则分析仪即有所反应,从而可知漏孔所在及漏气量大小。
背压法氦质谱检漏的简单步骤
质谱检漏实际应用中有很多具体的方法,其中背压法也是其中一种,我们来了解下背压法氦质谱检漏的几个步骤。
背压法氦质谱检漏检漏过程主要包括三个步骤:
首先是充压。将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放浸泡一定时间。如果被检件有漏孔,示漏气体会通过漏孔进入到被检件内部。随着浸泡时间的增加和充压压力的提高,这个被检件内部的示漏气体分压也会逐渐升高。
然后是净化。用干燥氮气或干燥空气在充压容器外部或在其内部吹被检件,在不具备气源时可以静置被检件,这样做的目的是去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。这个过程中,会有部分示漏气体从被检件内经漏孔流失,导致被检件内部示漏气体分压力下降。因此净化阶段时间越长,示漏气体的分压将越大。
第三个步骤就是检漏。经过净化的被检件被放入真空室,真空室与检漏仪相连,进行检漏。抽真空后,由于压差作用,示漏气体通过漏孔从被检件内部流出,而后经过真空室进入检漏仪,根据检漏仪的输出指示可以判定漏孔的存在以及漏率。
氦质谱检漏仪以及氦质谱检漏,在实际应用中,氦质谱检漏顾名思义一般都会采用氦气作为的示漏气体,这是为什么呢?
氦质谱检漏仪虽然是因为选用氦气作为示漏气体而得名,但实际上涉及的示漏气体包括氦气、氢气等,主要的是氦气。而之所以选择氦气作为主要的示漏气体,原因主要有以下几点:
1、氦气的质量轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、氦离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶氦离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中氦离子通过的各个缝隙,从而提高氦离子的传输率。
3、氦在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中氦气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。
以上这些因素都为提高氦质谱检漏仪器的灵敏度创造了良好条件。另外,氦气作为一种惰性气体,性质不活泼,不与真空器件起化学反应,***,也不会污染环境,因此使用起来也十分安全。
折叠台式检漏仪
台式检漏仪的显著优点:
(1)适合批量测试使用:该设备包含两台前级泵、高传到液压集成和三个检漏仪,大大缩短检漏周期。
(2)前级泵可选择性:可以根据不同需求选择不能类型的前级泵。
(3)操作简便:自动调整、校准、回零,使得检漏操作简便可靠。
(4)运行稳定:单极开关启动或关闭,阀门,保证设备可稳定运行百万次;自保系统可保证设备在误操作或电源故障条件免于损坏。
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