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氦质谱检漏仪的结构

分析器

分析器作用是使不同质荷比的离子按不同轨迹运动，从而将它们彼此分开，仅使氦离子通过其出口隙缝。分析器由一个外加均匀磁场及一个出口电极组成，如图4所示。磁场方向与离子束入射方向垂直。

由离子源出来的离子束射入它垂直的磁通密度为B的均匀磁场分析器中后，由于分析场中电场为零，所以离子仅受磁场的洛伦兹力作用而作半径为R的圆周运动。偏转半径R与质荷比M/Ze有关，当B及U一定时，相同质荷比的离子具有相同的运动半径，不同质荷比的离子将以不同的半径偏转而彼此分开。质荷比小的偏转半径小，质荷比大的偏转半径大。在偏转180°处，用一分析器出口电极将其他离子挡住，而使氦离子轨道对准出口电极上的狭缝，氦离子穿过狭缝到达离子收集极形成氦离子流。

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：

一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。

二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。

三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。

四、检漏仪中空气的本底影响。

五、残余气体分子对离子的散射作用。

六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。

因此，为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规，提高检漏仪的工作真空度，保证稳定抽速等等。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器，避免本底太大，难以清除

检漏仪仪器设备特点

全自动氦质谱检漏仪

全自动氦质谱检漏仪的显著优点：

(1)操作简便：检漏仪结合简捷的双键操作功能及内置智能化系统为您提供简单但强大的测试性能。

(2)功能强大：适用于各种检漏方法，优化设计的质谱室及真空系统功能强大，能适合各种检漏方法的要求，以满足各种各样的检漏应用。

(3)配置齐全：多种系统配置，多种可选件，可以灵活地组成各种各样的系统配置。

(4)坚固耐用：在坚固耐用方面的革新设计，使得检漏仪能适应各种恶劣的工业环境。

氦质谱检漏仪在不同行业的应用

随着汽车行业的迅猛发展，汽车空调行业对氦检的需求越来越大，对氦检的性能指标要求越来越高。氦质谱检漏仪在汽车空调蒸发器、冷凝器和压缩机检漏上在拥有氦气检漏的普遍优点的同时，更具备操作方便、工作节拍快、误判率低等独有特点。对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，被检工件外面是具有一定真空度要求的真空箱，真空箱与氦质谱检漏仪检漏口相接。若被检工件有漏，则漏入真空箱的氦气可通过氦质谱检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充铸和回收。电厂使用检漏仪主要是对汽轮机内部真空系统的检漏，还有冷凝罐的检漏，由于每一个环节如果有泄漏的话都会增加生产成本，所以电厂检漏在实际生产中是非常重要的。氦质谱检漏仪在电厂检漏领域被广泛使用。对于目前国际上常用的检漏方法，氦气检漏法被公认为***可靠的方法之一。消除了水泡简陋发检漏灵敏度低、判断较为困难、误判较多的缺点；也消除了卤素检漏法易受干扰、维护费用较高的缺点。