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发布时间:2021-11-21 11:21:28
双工位氦检漏系统构成
(1)粗抽机组:一般采用旋片泵或者滑阀泵作为粗抽真空使用,获得从一个大气压到千帕级真空,并为后续精抽真空作准备。
(2)精抽机组:一般采用罗茨泵作为精抽真空使用,获得检漏要求的真空,一般为5Pa左右。
(3)检漏仪:是检漏系统中的部件,检漏仪执行检漏工作时,给出工件***量大小,并判断工件是否合格,输出控制信号。
(4)耐压测试单元:通过向工件内充注高压气体,一方面测试工件的耐压性能。另一方面通过平衡、保压过程,有传感器感测压力差,并由控制系统经过计算分析判断是否有大漏。
(5)工件抽空单元:为保证氦气有循环过程中氦气的纯度,在向工件充注氦气之前,抽出工件内的空气。
***的检漏技术—氦质谱检漏技术,其在空调两器生产中的使用情况,针对存在的问题,对自动化氦检技术作了探索并实践。
空调器是由制冷剂在压缩机的驱动下而循环制冷的产品,在这种循环制冷的过程中,制冷系统(尤其蒸发器和冷凝器)是密闭的,一旦制冷剂泄漏,不但制冷效果降低甚至丧失制冷能力,同时污染大气,所以保证制冷系统的气密性是空调器生产的关键。
真空系统的可允许漏气率
真空系统的可允许漏气率应视其操作压力范围及应用的需要而定,以下所列为以真空范围的可允许漏气率。
(1)粗略真空系统
真空系统操作压力范围为粗略真空,从大气压力1013mBar至1mBar;可允许漏气率为1毫巴?公升/秒。
(2)中度真空系统
真空系统操作压力范围为中度真空,从1mBar至10-3mBar;可允许漏气率为10-2毫巴?升/秒。
(3)高真空系统
真空系统操作压力范围为高真空,从10-3mBar至10-7mBar;可允许漏气率为10-5毫巴?升/秒。
(4)超高真空系统
真空系统操作压力范围为超高真空,压力低于10-7mBar;可允许漏气率为10-9毫巴?升/秒
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