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真空箱氦检漏及回收系统基本原理

采用背压法对被检工件进行漏率检测，并对氦气进行回收利用。首先对被检工件放入真空箱内，充入一定压强的氮气，作耐压测试，通过保压判断压降确定是否有大漏；然后对被检工件抽空后充入一定压强的氦气，真空箱与检漏仪的检漏口相接，若被检工件有泄漏，则漏入真空箱的氦气可通过检漏仪测出。与被检工件相连的是充气回收装置，在检漏前后分别实现氦气的充注和回收。

为满足工业现场快节奏检测节拍、充分利用资源、节约设备制造成本。系统采用双工位设计，系统原理简图如图一所示，两个工位共用一套粗抽机组、精抽机组、检漏仪、耐压测试单元、工件抽空单元、氦气充注及回收单元。两个工位可交替执行不同工艺流程，比如一个工位在检漏时，另一个工位可执行抽空、检漏等步序。根据此原理。

真空箱氦检漏及回收系统设计关键技术

（1）真空箱体设计：首先、要保证箱体在抽真空过程中受力发生非弹性形变，造成箱体开裂。第二、要保证良好的气密性，真空箱一般是焊接成型，根据真空系统要求，焊缝无气孔、接痕， 表面光滑， 焊后焊缝表面磨光， 同箱体板一起抛光。这样处理的箱体内表面光洁， 表面藏气较少。第三、真空箱门开合自如，开合过程中不剐伤箱体密封圈，为提高箱体密封圈的使用寿命，设计时尽量考虑使密封圈在垂直箱体法兰面方向上受力，尽量避免斜向受力。

（2）真空管路设计：真空管路设计首先要考虑管道流导要与真空泵的抽速相匹配，避免大马拉小车现象。

（3）检漏系统设计：首先、系统应具备检测大漏、中漏、微漏功能，系统一但出现大漏应立即中止检漏并给出报警，防止出现大漏后，继续执行氦检工艺， 造成系统累积大量氦气而无法清除，也即是出现“氦”现象。其次、一但出现大漏，应有清氦措施，大程度的清除氦本底。

采用真空压力法检漏时，需要将被检产品整体放入真空密封室内，真空密封室与辅助抽空系统和检漏仪相连，被检产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室后，再与氦气源相连，当被检产品表面有漏孔时，氦气就会通过漏孔进入真空密封室，再进入氦质谱检漏仪，从而实现被检产品总漏率的测量。

真空压力法的优点是检测灵敏度高，能实现任何工作压力的漏率检测，反映被检件的真实泄漏状态。

真空压力法的缺点是检漏系统复杂，需要根据被检产品的容积和形状设计真空密封室。这里需要说明在检漏过程要求确保充气管道接口无泄漏，或者采取特殊的结构设计将所有充气管道连接接口放置在真空密封室外部。

真空压力法的检测主要应用于结构简单、压力不是特别高的密封产品，如电磁阀、高压充气管道、推进剂贮箱、天线、应答机、整星产品等

1.什么是真空真空定义成稀释的空气，或者相应的状态，如压力或密度比外界环境大气少.因为大气压在地球表面不同的地方是波动的，随海拔升高而减少，所以不可能给出真空范围的上限。

2.真空总述接下来，为了获得真空，必须在腔体中产a生一个小于大气压的压力.由于地球有万有引力，不同海拔高度由不同大气压力

如果P=P0/2，由公式可以得到: h 1/2=5548m， 换句话说，大气压力每5548米减半.喷气式客机的巡航高度大约是地球表面上10千米，大气压力减到了290mbar. 探空气球在30千米测得压力24mbar. 这一类压力可以归为低真空范围内. 距地球表面更远的距离，如轨道高度250千米，压力减少到E-5到E-6 mbar，更远的空间可到超高真空E-14mbar。 实际利用压力差来产生力是在1000-1mbar范围内，在这种范围内，真空度是用大气压的百分比来表示的。

在地面上要达到在太空中一样的真空需要很多手段，各种真空泵用来获得各种不同的压力。