云浮锂电氦检专机设备优惠报价「博为光电」

质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体，主要原因如下：

（1）氦在空气中及真空系统残余气体中的含量少（在空气中约含5×10-6），在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

（2）氦的质量小（相对分子质量为4），易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

（3）氦是惰性气体，不与被检件器壁起化学反应，不会污染被检件，使用安全。

（4）在氦两侧的离子是氢（质荷比为2）和双电荷原子碳（质荷比为6），质荷比都与氦相差较大。这样，它们在分析器中的偏转半径相差也大，容易分开，调氦峰时，不易受其他离子的干扰，因此就降低了对分析器制造精度的要求，易于加工。同时，分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大，使更多的氦离子通过，提高了仪器灵敏度。

（5）氦在被检件及真空系统中不易被吸附，容易被抽走。这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏，提高了仪器的检漏效率。

氢气有些性能（如质量小、易通过漏孔）比氦还好，然而由于氢一方面有***，另一方面在油扩散泵中，由于油受热裂解会产生大量的碳和氢，使氢本底极高且波动大，以致灵敏度大大降低，所以很少采用。

氦质谱检漏仪的结构和工作原理

氦质谱检漏仪是180°磁偏转型的质谱分析计，其基本原理是根据离子在磁场中运动时，不同质荷比的离子具有不同的偏转半径来实现不同种类离子的分离。检漏仪主要由质谱室、真空系统及电气控制部分组成。检漏工作时先打开抽空阀前级泵对检漏接口抽真空，当真空度P1 优于200 Pa 时，打开入口阀1、2，关闭抽空阀，氦气将逆着分子泵的抽气方向进入质谱室中被检测出来，此时检漏仪的小可检漏率为10- 10 Pa·m3/s。前级泵继续对检漏接口抽真空，当P1降至20 Pa 时，入口阀2 关闭，入口阀3 打开，分子泵的高抽速用于抽空试件，检漏仪的反应时间缩短，此时检漏仪的小可检漏率为10- 12 Pa·m3/s[1]。

氦质谱检漏仪运用行业的发展

（1）电力行业SF6高压开关与氧化锌避雷器是发电厂及旷野输变电的必要构成一部分，时时因透露造成大面积或局部停电，影响家打造生产，又故障人们的正常生活生计。因此带来的经济流失无意是难以估计的。

①低压开关在连箱是铝铸件，经常简单有砂眼，且漏孔***芜杂，不易清洗。一般采纳检漏盒或氦罩法，即把被检件抽真空，尔后向罩内充入氦气，等候定然工夫，必然总漏率的大小。因氦气的用量小，检测灵敏度就高。

②腐蚀锌避雷器，是依照电压高低申请，采用差别截面积、不合厚度和一致数量的侵蚀锌片，装在瓷套中，充入氮气后密封。其任务情理是在高压输出中如遇雷击，侵蚀锌片电阻变小，大电流对地短路，输电旅程被珍爱。假设透露造成表里不有压差，内部潮湿气体有大概进入，而破不好腐蚀锌片共性，造成。

③电力行业中，电厂的检漏、低压变压器、低压电容器、低压开关管及其他元器件也都响应的采纳氦质谱检谱检漏仪，用一致法子进行检漏。

（2）电子行业微波发射管、电子管、晶体管、集成电路、密封继电器、各类传感器、心脏起博器。

（3）真空行业，仪器、仪表行业管道、探讨、阀门、涟漪管、各类真空泵、各类排气机组、电镜、质谱仪、电子束离子速***机、激光轴会萃器、高能、加快器、辐照加快器、镀膜机、薄膜真空计,盐雾试验箱。

（4）核出产业铀云散摆设、存储摆设、核发电摆设。

（5）制冷行业冰箱、空调、化锂制冷机组、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。

（6）不锈钢保温器皿真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。

氦质谱检漏仪开机步骤

1、将总电源转到“前级泵”，低真空表头指示值应从左向右逐渐上升至2~15Pa，开抽速阀，开漏孔开关，表头示值也应能抽到原来位置，再关抽速阀。

2、将总电源转到“扩散泵”，灯亮，扩散泵开始加热。

3、等20分钟左右，扩散泵排气管应热，开冷规开关，“质谱室压强”表头指针应从左打向右(即冷规已激发)再关冷规。

4、开抽速阀，过几分钟后开冷规，表头指针应从左打向右，再从右向左逐渐上升(真空示值在1×10-2Pa以下请不要长时间开冷规，可等一会儿再开)，当真空示值超过1×10-2Pa后，可启动灯丝，灯亮，“发射电流”有指示，开、关漏孔检查氦质谱检漏仪灵敏度(可调加速电压使信号指示Zda)，灵敏度达要求后关漏孔。

5、将工件用外接泵抽上真空后，开节流阀至冷规指示值为5×10-3~1×10-2Pa之间，对工件喷氦检漏。检漏完，关节流阀。