潮州氦质谱真空检漏常用指南「博为光电」

真空设备使用过程中的注意事项

在真空设备使用运行阶段，时常出现设备气密性下降，总体漏率上升的情况，这是影响真空设备正证常工作的主要原因。造成这种现象的原因包括：机械振动造成连接部位松动；经常拆卸部位的密封圈可能损坏或安装不正确；由于冷、热冲击而发生变形和疲劳***；某些部件或材料因受工作介质的腐蚀而***；某些原本被水、油或其他脏物堵塞的漏孔重新释通；以及应力集中而造成裂纹等。

正确使用真空设备，应该将检漏工作纳入真空设备日常维护、管理规范之中，例如定期做静态升压检测实验。操作人员发现设备气密性下降应及时解决，根据其设备使用情况和故障现象来分析泄漏原因，并采取适当的检漏手段，检出漏孔位置，及时修补。不要等到设备出现多种、多处泄漏，已经无法正常工作时再去检漏维修。

另外，平时准备充足的密封备件，定期（而不是出现问题后）更换易损件，也是做好真空检漏工作、保证设备正常运行的主要措施。

真空泄漏中的实漏、虚漏、外漏、内漏

大部分真空系统的表现会随时间的推移而变化，特别是用于生产的真空设备，几乎不可避免地会发生真空度下降等问题，造成这些问题的一个很常见的原因就是泄漏。

定期的泄漏检测很重要

大的泄漏通常会非常明显：真空腔体压力未按正常速度下降，或者极限压力明显高于正常值。然而，有些时候，由于真空泵可以轻松处理泄漏气体造成的气载，小的泄漏很难被发现，这时，即使真空计的读数仍然在正常的水平，泄漏的出现仍有可能为真空腔体带来期望之外的气体（如氧气），这些气体有时候会对工艺过程（比如某些镀膜工艺）带来非常严重的影响。所以，无论真空系统的压力是否有明显下降，都应该定期进行泄漏检测。

动态泄漏

真空系统中有运动传递的地方会采用动密封，这些动密封结构，很有可能在静态的时候密封良好而运动的时候产生泄漏；比如采用橡胶轴封做动密封（阀杆与阀体之间）的阀门，就比较容易发生这种现象。这种现象发生的概率不高，不过由于检漏时阀门一般是处于打开或关闭的某一个状态，这种动态泄漏很难被发现。

对于非常关键的工艺，选择波纹管密封的阀门可以大大减小出现动态泄漏的概率；如果选用的还是轴封做密封的阀门，在检漏时，向阀杆位置喷氦的同时，操作阀门进行动作，也可以很快地判断该阀门是否存在动态泄漏。

值得注意的是，真空腔体检漏的要求较高，不仅需要操作者具备扎实的基础知识、丰富的操作经验，而且现场情况也复杂多变。因此，出现问题，好寻求公司人员的帮助。

真空检漏技术

一、真空系统的漏气

1.漏气的定义

真空系统不可能不漏气，但符合以下条件可视为不漏气：

（1）真空系统的终压力可以达到；

（2）在正常操作时间范围内，真空系统可以达到并维持预期的压力范围。

2.漏气的判定

当真空系统操作时不能达到预期的压力范围，或者操作时间超过正常操作时间才能达到预期的压力范围，此时常被怀疑为漏气。但这有可能是真空室器壁吸附的气体被释放出来造成的，此即为假漏。因此，需要在检漏之前判断真空系统是否为假漏。

常用简单判断假漏与真漏的方法为：将真空系统停止抽气，然后观察真空计的变化。若真空计压力一直上升，则为真漏；若压力上升到一定值后停止不变，则为假漏。