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铀是固态，而扩散分离需要的是气体。为此, 得把金属铀变成氮化物UF6，UF6在室温下就会蒸发。一个不利的因素是，在潮湿气氛中很容易生成腐蚀性很强的和铀的氧化物，铀的氧化物又是***的材料。这两种情况在气体扩散分离法中应当防止。

在曼哈顿计划中, 的分离是把UF6通过几公里长的多孔管道的扩散后才获得的。

对整个扩散系统的密封性要求之高是的。潮湿空气不能进入工艺容器之中。雅可比博士在当时被誉为曼哈顿计划中的橡树岭扩散工厂的总设计师。为了成功的分离出，他对真空检漏技术提出的严格的要求有

（1）新的仪器对空气和残余气体的读数是零，仅对示踪气体有响应。

（2）新的仪器本身也是一个抽速较高的真空系统。

（3）仪表的指示能够反映出漏孔的大小, 漏量的大小。这三点要求实际上构成了研制新型检漏仪器的准则。在研制过程中, 对传统的检漏方法、光谱仪和皮喇尼规进行了考察。发现在实际运用中都存在着不少的缺点。当时,明尼苏达州州立大学的尼尔博士正在研制一种可以记录分子量和原子量大小的质谱仪。经过分析， 雅可比认为如果尼尔博士能够使仪器简化， 那么质谱仪将是一种好的选择性检漏装置。

新型检漏装置的示踪气体必须满足三个要求

（1）系统的残余气体的质潜中没有它的谱线。即便仪器处于大气环境，这种气体在仪器中也几乎不存在。

（2）能够在试验状态下很容易地把它从系统中抽出， 所用的示踪气体不会污染系统。

（3）分子量低、粘度低、购置方便。显然，氦气是满足这三个要求的理想的气体。

橡树岭的扩散工厂主要是由大型圆柱形容器构成。容器与油罐车上的油罐的大小相当。厂内的大型容器数以百计，一个又一个的联结在一起。其内部有可以有效分离出铀的含有微孔的长管。为了防止泄漏，必须对所有容器的器壁进行严格而认真的检漏。

初用于橡树岭扩散工厂的氦质谱检漏仪封装在玻壳中。其零部件和管道也是玻璃制成的。抽气装置又用的是玻璃式扩散泵。当这些由玻璃封装的检漏仪进入现场后损坏很大。玻璃系统经常破碎，不得不请许多玻璃工进行维修。在当时, 熟练的玻璃工实在太少了。后来参加调试的人员出通谍：如果检漏仪不能作成实用型，他们将拒绝使用。尼尔博士在十分困难的情况下，终于研制成功了金属的质谱计和金属式的真空系统。这也是现代氦质谱检漏仪的雏形。金属式氦质谱检漏仪的研制成功终于适应了扩散工厂对检漏的严格的要求。检漏仪的研制成功为后来的研制成功作出了历史性的贡献。

1945年以来，氦质谱检漏仪的制造工艺已经有了很大的改进。1947年，检漏仪的灵敏度均为10-4Pa.L/S；到1970年, 提高到可检测10-7Pa.L/S的漏率；而今天已能能够检测到10-9Pa.L/s的漏率。与此同时, 检漏仪的体积和质量也大大降低。90年代初，小的氦质谱检漏仪的体积只有0.05m3重约38.5Kg。新型的氦质谱检漏仪中已经没有手动阀。现已采用自控阀自动调节运转时的误差。同时用涡轮分子泵取代了油扩散泵, 以消除可能造成的油返流。计算机技术也在氦质谱检漏仪中获得应用。运转、控制和输出数据均由计算机自动操作完成。典型的示波器已由阴极射线管显像屏所代替。整个操作只须按各种按钮自动进行。博为研发生产的新型检漏仪现在已经渗透到航空航天、新能源、电子器件、阀门、电力、制冷、家电等行业。氦质谱检漏仪在未来的岁月中还将在许多的工业领域中得到新的应用

经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。

 集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：现在各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。

（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕左右，对检测大系统和有大漏的工件很有益。

（3）自动化程度高：自动校准氦峰，自动调节零点，量程自动转换，自动数据处理，可外接打印机。整机由微机控制，菜择功能，一个按钮即可完成一次的全检漏过程。

（4）全无油的干式检漏：有些***生产的检漏仪，可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。